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諧振式壓力傳感器、薄膜壓力傳感器原理

更新時間:2020-12-14瀏覽:3203次

  諧振式壓力傳感器原理:
 
  利用諧振元件把被測壓力轉換成頻率信號的壓力傳感器。它是諧振式傳感器的重要應用方面,主要有振弦式壓力傳感器、振筒式壓力傳感器、振膜式壓力傳感器和石英晶體諧振式壓力傳感器。
 
  當被測參量發生變化時,振動元件的固有振動頻率隨之改變,通過相應的測量電路,就可得到與被測參量成一定關系的電信號。其優點是體積小、重量輕、結構緊湊、分辨率高、精度高以及便于數據傳輸、處理和存儲等。
 
  薄膜壓力傳感器原理:
 
  濺射薄膜壓力傳感器也是利用電阻應變效應工作的,與傳統應變式壓力傳感器屬于同一原理。兩者的主要差別制作工藝上。濺射薄膜壓力傳感器延用了測量壓力的金屬彈性膜片原理,應用離子束濺射和刻蝕工藝,將應變電橋直接制作在金屬測壓膜上,由于沒有活動部件,抗震動和抗沖擊能力很強,可用于惡劣的環境。

 

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